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半自动晶圆腐蚀清洗机
工艺说明
非标订制设备,全机PP满焊接完成；
手臂可同时兼容4寸 ，6寸，8寸，12寸花蓝
制程工艺：三酸(镍刻蚀硫,酸,BOE),三水(QDR*3)或根据要求定制
此台设备为半自动设备，由人员上下料，颗粒清洗则由设备自动运行；
控制系统由PLC控制，设备搭载伺服电机控制的机械手臂，定位准确，手臂提供上下及旋转功能，可同时运... 米兰平台 +
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清洗处理机
工艺流程：入板 → 除油 → 溢流水洗(1)(2)(3) → 清水洗 → 微蚀 → 溢流水洗(4)(5)→ 酸洗 →溢流水洗(6)(7)(8)→ DI水洗 → 干板组合 → 出板
规格：(可客制) 设备外尺寸: 11640mm(L) * 1726mm(W) *2500±25mm(H) (产速与设备长度大致成正比）
PCB板规格: (可客制） [最大] 610 mm * 610 mm [最小] 200 mm * 200 mm ... 米兰平台 +
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